Datos del producto:
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Tipo: | Tubos de cerámica | Material: | Carburo de silicio |
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Color: | Negro/gris | Densidad: | ≥3.02g/cm3 |
Tamaño: | Las peticiones de los clientes | Uso: | Dispositivo de cargamento de la oblea de semiconductor |
Temperatura de trabajo: | 1380℃ | Artículo: | El silicio enlazó el tubo y el tubo de cerámica, tubo del nitruro de silicio, NBSC del carburo de si |
Resistencia de flexión 20℃: | 250MPa | abra la porosidad: | < 0,1% |
Alta luz: | Haces del carburo de silicio,boca de cerámica de la hornilla |
La reacción sinterizó las paletas del carburo de silicio usadas al sistema del cargamento de la oblea de semiconductor
La mezcla voladiza sinterizada reacción del carburo de silicio es una parte fundamental del sistema del cargamento de la oblea de semiconductor. Se utiliza principalmente en la nueva industria energética fotovoltaica. Durante el uso de las obleas de silicio policristalinas o de las obleas de silicio monocristal en el horno que desmonta, el cargamento y el transporte de las obleas de silicio en ambientes des alta temperatura (el ° 1000-1300 C), especificaciones de producto se puede modificar para requisitos particulares según requisitos de cliente.
Goma del carburo de silicio para la nueva industria energética fotovoltaica. Las especificaciones principales son 2378m m, 25550m m, 2660m m, etc. Se utiliza en el horno de difusión para cubrir las obleas de silicio policristalinas o las solas obleas de silicio cristalinas (difusión) en curso de capa y transporte de las obleas de silicio en ambientes des alta temperatura.
La mezcla voladiza tiene funcionamiento estable, no desforma bajo ambiente de alta temperatura, y tiene fuerza grande del cargamento de la oblea, que es conveniente para el sistema automático robótico del cargamento y de tramitación. Porque la superficie voladiza de la mezcla es estable y no deformada, llega a ser posible utilizar los tubos de horno existentes para preparar especificaciones más grandes de tubos redondos.
El coeficiente de la extensión termal de mezcla voladiza es similar al de la capa de LPCVD, y se aplica a LPCVD, que prolonga grandemente el ciclo del mantenimiento y de limpieza y reduce grandemente los agentes contaminadores.
Fecha técnica de SISIC | ||
Artículo | Unidad | Datos |
Temperatura máxima del uso | ºC | 1380 |
Densidad | g/cm3 | ≥3.02 |
Porosidad abierta | % | <0> |
Resistencia de flexión | Mpa | 250 (20ºC) |
Mpa | 280 (1200ºC) | |
Módulo de la elasticidad | Gpa | 330 (20ºC) |
Gpa | 300 (1200ºC) | |
Conductividad termal | W/m.k | 45 (1200ºC) |
Coeficiente de extensión termal | K-1×10-6 | 4,5 |
Rigidez | 13 | |
Alcalino-prueba ácida | Excelente |
Fotos de la paleta del carburo de silicio de Sisic
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